光電直讀光譜儀內部結構無論國內還是國外，基本上可以分為4個模塊，這四大模塊分別是激發系統、光學系統、測控系統、測控系統，對應的重要也各不相同。下面就來介紹下這四個模塊的各自的功能。

一，激發系統：其功能就是通過各種方式使固態樣品充分原子化，從而讓各元素發射光譜光。

二，光學系統：其功能就是對激發后的復雜光信號進行整理、分離、篩選、捕捉。如光電直讀光譜儀的傳感器。

三，測控系統：其功能就是測量代表各元素的特征譜線強度，通過這樣的方式將譜線的光強信號轉化為電腦能夠識別的數字電信號。控制整個儀器正常運作。

四，電腦的軟件數據處理系統：對接收到的這些各通道的光強數據，進行分析處理反饋樣品含量。

并且光電直讀光譜儀內部結構中還有一個重要的組成：光室。在分析鑄鐵、不銹鋼、低合金鋼等材料時，這些元素都是需要檢測的。而這些元素zui佳光譜線均在真空紫外波段，而空氣中的各類氣體又會對紫外區譜線產生強烈的吸收，導致光譜儀能夠測量到的紫外光譜強度急劇減弱，進而影響被測元素的準確性及穩定性。所以需要使用辦法將其去除光室中的空氣和水蒸氣，才能實現較為穩定的紫外區元素檢測結果。很多品牌的設計都有不同，也有兩個光室的設計，還有單獨一個光室。如博越儀器就采用雙光室設計。

雙光室技術的主要特點是將光譜儀拆分成兩個光學系統，一個大光室，用來分析不需要氬氣保護的可見光波段；而另一個小光室，則用于分析需要氬氣保護的紫外光波段。這樣使用氬氣用量很少，而且很快可以建立高純氬氣環境（使檢測結果更精準），另外氬氣通過光室之后還可以循環到激發環節進行再利用，這樣就解決了氬氣浪費的問題（一年可節省上萬元）。  此外，分成雙光室之后，可以單獨對分析紫外的光學系統進行優化，提高光柵（對金屬材料折射的元素光分光）刻線數，進而提高分辨率，這樣做對C、P、S等難分析的非金屬元素的分析帶來非常大的好處。

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