真空直讀光譜儀是根據是否采用真空檢測的方式，根據光柵所處的環境不同，可分為真空型和非真空型直讀光譜儀，其中非真空型直讀光譜儀又可分為空氣型直讀光譜儀（無法測定真空紫外波段的C、P、S、As等元素含量）和充惰性氣體型直讀光譜儀（可以測定真空紫外元素），下面就來為大家具體介紹下。

在解答前不得不提及下其直讀全譜光譜儀內部結構：光室。在分析鑄鐵、不銹鋼、低合金鋼等材料時，這些元素都是需要檢測的。而這些元素zui佳光譜線均在真空紫外波段，而空氣中的各類氣體又會對紫外區譜線產生強烈的吸收，導致光譜儀能夠測量到的紫外光譜強度急劇減弱，進而影響被測元素的準確性及穩定性。所以需要使用辦法將其去除光室中的空氣和水蒸氣使其成為真空狀態，才能實現較為穩定的紫外區元素檢測結果。很多品牌的設計都有不同，也有兩個光室的設計，還有單獨一個光室。如博越儀器就采用雙光室設計。

樣品中的合金元素在高溫情況下可能會與空氣中成分發生化學反應生成分子化合物，從而會有分析光譜對我們所需的原子光譜造成干擾。因此必須要求氬氣的純度達到99.999％ 以上。另外，氬氣的壓力和流量也對分析質量有一定影響，它決定氬氣對放電表面的沖擊能力，這種激發能力必須適當，過低，不足以將試樣激發過程中產生的氧氣和它形成的氧化物沖掉，這些氧化物凝集在電極表面上，從而抑制試樣的繼續激發；氬氣流量過大，一是造成不必要的浪費。二是對光譜儀也有一定的損傷。因此氬氣壓力和流量必須適當。據實踐，氬氣的壓力和流量，應根據不同材質進行調節，對中低合金鋼的分析，輸入光譜儀的氬氣壓力應達到0.5—1.5MPa，動態氬的流量為12～ 20個讀數，靜態氬的流量為3～5個讀數。所以光譜分析儀多會采用真空機對直讀光譜儀進行抽真空處理。

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