根據誤差的性質及產生原因， 誤差可分為三種：第 一種系統誤差的來源，系統誤差的來源又可分為，1、標樣和試樣中的含量和化學組成不完全相同時，可能引起基體線和分析線的強度改變，從而引入誤差。2、標樣和試樣的物理性能不完全相同時，激發的特征譜線會有差別從而產生系統誤差。3、澆注狀態的鋼樣與經過退火、淬火、回火、熱軋、鍛壓狀態的鋼樣金屬組織結構不相同時，測出的數據會有所差別。4、未知元素譜線的重疊干擾。如熔煉過程中加入脫氧劑、除硫磷劑時，混入未知合金元素而引入系統誤差。要消 除系統誤差，必須嚴格按照標準樣品制備規定要求。為了檢查系統誤差，就需要采用化學分析方法分析多次校對結果。

第二種偶然誤差的來源，與樣品成分不均勻有關的誤差。因為火花直讀光譜儀所消耗的樣品很少，樣品中元素分布的不均勻性、組織結構的不均勻性，導致不同部位的分析結果不同而產生偶然誤差。主要原因如下：1、熔煉過程中帶入夾雜物，產生的偏析等造成樣品元素分布不均。2、試樣的缺陷、氣孔、裂紋、砂眼等。3、磨樣紋路交叉、試樣研磨過熱、試樣磨面放置時間太長和壓上指紋等因素。要減少偶然誤差，就要精心取樣，消 除試樣的不均勻性及試樣的鑄造缺陷，也可以重復多次分析來降低分析誤差。第三種其他因素誤差，產生原因如下， 1、氬氣不純。當氬氣中含有氧和水蒸氣時，會使激發斑點變壞。如果氬氣管道與電極架有污染物排不出去，分析結果會變差。2、室內溫度的升高會增加光電倍增管的暗電流，降低信噪比。濕度大容易導致高壓元件發生漏電、放電現象，使分析結果不穩定。要減少其他因素誤差，就需配備氬氣凈化器提純氬氣，配備空調調節室內溫度和濕度。