氬氣不純，含有過量氧含量，凝集在電極上的氧化物多，譜線強度降低，使氬火花放電不穩定。水蒸汽和二氧化碳一樣，在高溫下可能分解出氧氣。因此水蒸汽和二氧化碳均不允許含量過大。碳過多，對含碳量較少的試樣的分析精度有直接影響。為了提高氬火花的穩定性，必須對氬氣進行凈化處理。可以在供氬管道上加上一個盛分子篩的容器，用以吸附氬氣中的水分及復雜氣體，使氬氣干燥和凈化。分子篩吸附的物質可以用加熱的辦法去除。去除吸附物后的分子篩又恢復了吸附能力，還可以重復循環使用。也可以用條狀的氫氧化鉀去掉氬氣中的二氧化碳，也可以用鎂爐（在管道容器中裝入金屬鎂屑），爐子溫度400-600C，氬氣通過鎂爐后可以除去氧。經過凈化裝置處理后的氬氣，就能滿足分析要求了。

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