光譜儀的光學系統是由入射狹縫、光柵、出射狹縫及羅蘭圓組成——其目的是讓采集到的一束復合光通過光學系統的分光作用后變成單色光,找到每個元素的特征分析譜線。
光譜儀的光學系統的光學室特性,真空光室測試UV波段的元素:C、N、O、P、S、B。主要應用在Fe基或是其他的合金(如:Ti,Al…);空氣光室測試可見光波段和紅外波段元素。溫度是常數(恒定)。幾何結構:羅蘭圓、衍射光柵、檢測器根據這些來定位。
羅蘭圓的作用:是一個經典的分光結構,能將入射狹縫,光柵和出射狹縫同時聚焦在羅蘭圓上。光柵的作用:分光--使復合光變成單色光。遠紫外光的分光特點:波長短,能量高,要求光柵具有極強的分光能力,故應選擇高刻線光柵如3600條/mm進行分光,且為了減少紫外光能量損失,應選擇對遠紫外光吸收小的材料作光柵。可見光的分光特點:波長居中,能量居中,要求光柵具有較強的分光能力,故應選擇中刻線光柵2400條/mm進行分光,且對光柵材質無特殊要求。
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