電子掃描顯微鏡是一種大型分析儀器，它廣泛應用于觀察各種固態物質的表面超微結構的形態和組成，是自上世紀60年代作為商用電鏡面世以來迅速發展起來的一種新型的電子光學儀器，被廣泛地應用于化學、生物、醫學、冶金、材料、半導體制造、微電路檢查等各個研究領域和工業部門。

電子掃描顯微鏡其所謂掃描是指在圖象上從左到右、從上到下依次對圖象象元掃掠的工作過程。它與電視一樣是由控制電子束偏轉的電子系統來完成的，只是在結構和部件上稍有差異而已。 在電子掃描中，把電子束從左到右方向的掃描運動叫做行掃描或稱作水平掃描，把電子束從上到下方向的掃描運動叫做幀掃描或稱作垂直掃描。兩者的掃描速度完全不同，行掃描的速度比幀掃描的速度快，對于1000條線的掃描圖象來說，速度比為1000。

掃描電鏡雖然是顯微鏡家族中的后起之秀，但由于其本身具有許多獨特的優點，發展速度是很快的，首先，在儀器分辨率較高，通過二次電子象能夠觀察試樣表面6nm左右的細節，采用LaB6電子槍，可以進一步提高到3nm。其次，儀器放大倍數變化范圍大，且能連續可調。因此可以根據需要選擇大小不同的視場進行觀察，同時在高放大倍數下也可獲得一般透射電鏡較難達到的高亮度的清晰圖像。還有觀察樣品的景深大，視場大，圖像富有立體感，樣品制備簡單等特點。

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