掃描電子顯微鏡(SEM) 是一種介于透射電子顯微鏡和光學顯微鏡之間的一種觀察手段。在巖土、石墨、陶瓷及納米材料等的研究上有廣泛應用。因此掃描電子顯微鏡在科學研究領域具有重大作用。那掃描電子顯微鏡優缺點有那些呢？下面20年實戰工程師為您專業解答。

在對掃描電子顯微鏡優點進行整理后，其獨有的優勢特點可以歸類如下：一，高分辨率，掃描電鏡二次電子像的分辨率可達到3nm，超高分辨掃描電鏡二次電子像的分辨率則高達1nm。二，景深大，掃描電鏡可達到1mm。三，放大倍數在大范圍內連續可調，在高放大倍數下圖像也有足夠的信號亮度。四，試樣制備相對簡便。五，可進行動態觀察。

掃描電子顯微鏡缺點可以歸類如下：一，分辨率不及TEM和AFM（原子力顯微術），不能觀察到物質的分子和原子像。二，試樣需置于真空環境下觀察，限制了樣品的類型。三，只能觀察樣品表面形貌，表面以下結構不能探測。四，沒有高度方向信息，只有二維平面圖像。五，不能觀察液體樣品。

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