臺式電子顯微鏡按結構和用途可分為透射式電子顯微鏡、掃描式電子顯微鏡、反射式電子顯微鏡和發射式電子顯微鏡等。因此臺式電子顯微鏡和掃描電鏡是無法區別對比的,臺式電子顯微鏡的分類中包含掃描電鏡,下面我們就來一起詳細了解下兩者。
電子顯微鏡,簡稱電鏡,英文名Electron Microscope(簡稱EM),經過五十多年的發展已成為現代科學技術中不可缺少的重要工具。其中,掃描電鏡的特點 和光學顯微鏡及透射電鏡相比,掃描電鏡具有以下特點:1.能夠直接觀察樣品表面的結構,樣品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。2. 樣品制備過程簡單,不用切成薄片。3.樣品可以在樣品室中作三度空間的平移和旋轉,因此,可以從各種角度對樣品進行觀察。
其次,4. 景深大,圖象富有立體感。掃描電鏡的景深較光學顯微鏡大幾百倍,比透射電鏡大幾十倍。5. 圖象的放大范圍廣,分辨率也比較高。可放大十幾倍到幾十萬倍,它基本上包括了從放大鏡、光學顯微鏡直到透射電鏡的放大范圍。分辨率介于光學顯微鏡與透射電鏡之間,可達3nm。6.電子束對樣品的損傷與污染程度較小。7. 在觀察形貌的同時,還可利用從樣品發出的其他信號作微區成分分析。
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