精密測量顯微鏡采用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量。主要運用于錄像磁頭、大規模集成電路線寬以及其它精密零件的測試。廣泛地適用于計量室、生產作業線及科學研究等部門。其中主要還是在電子工業鑄造業等應用更廣，如觀察電路板的構造，觀察零件直接的精確距離，是在把控質量時不可缺少的精密儀器。

而測量顯微鏡能夠廣泛應用于許多行業。主要是測量顯微鏡 結構由于特殊的顯微鏡先天的功能，非常適合用于測量和非常小的物體的直徑，長度，寬度。 可以  測量正在查看任何樣本大小 ，顯微鏡測量方法如精密工具制作， 需要完全精確制造精密工具。否則，這些工具將無法在所有的功能。例如，明星螺絲刀的直徑需要，是統一的，與工程測量標準按面值。正是在這種測量顯微鏡類型的應用，測量顯微鏡是非常重要的。這樣模具制造商將無法使精密工具，因此測量顯微鏡及其應用是非常重要的。

而在測量顯微鏡觀察使用時，為觀察清晰就需要避免色差的干擾，色差現象的產生是由于不同波長光的折射率不同，當光軸上的物點發出的多色光經單透鏡成像時，將得到一系列與各色光對應的不重合的像點，進而觀察的細節就會很模糊有偏差，這樣就會導致捕捉的圖像不清晰，進而導致在進行金相軟件自動識別時無法精準的判斷，從而導致沒有數據無法進行下一步環節。

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