聚焦離子束掃描電子顯微鏡是一種用于材料科學(xué)、化學(xué)、物理學(xué)、航空、航天科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域的分析儀器，聚焦離子束(FIB)光源與掃描電子顯微鏡(SEM)相結(jié)合，由于其獨(dú)特的生成各種結(jié)構(gòu)的能力，無論是通過切割還是離子束誘導(dǎo)沉積(IBID)，都引起了人們的極大興趣。通過SEM觀察。

其主要應(yīng)用于各種材料形貌觀察和分析，如金屬、半導(dǎo)體、陶瓷、高分子材料、有機(jī)聚合物等;材料微納結(jié)構(gòu)的樣品制備，包括：SEM在線觀察下制備TEM樣品、材料微觀截面截取與觀察、樣品微觀刻蝕與沉積等.。但是，在一些情況下，兩種離子源都不是理想的選擇。

聚焦離子束掃描電子顯微鏡，允許快速、簡便地進(jìn)行離子束切換的儀器。以前，應(yīng)用不同的離子束需要研究人員在儀器之間轉(zhuǎn)移樣品,或進(jìn)行冗長而復(fù)雜的源交換。使用獨(dú)立的專用寬束氬離子拋光機(jī),在初始切割后,可直接將聚焦的氬離子應(yīng)用于樣品拋光,從而大大減少了樣品的轉(zhuǎn)移和處理時(shí)間。切換時(shí)間為 10 分鐘或更短,研究人員還可以在一個(gè)小節(jié)內(nèi)將所有 4 束光束應(yīng)用于樣品,以確定哪種離子最適合其預(yù)期用途。這種靈活性擴(kuò)展了FIB在探索電子-樣品相互作用方面的潛在應(yīng)用。

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